部分标准内容：
中华xxxx国电子工业部部标准SJ2798—87
电子级气体中颗粒和痕量
杂质测定方法
1987-05-18发布
中华xxxx国电子工业部批准1988-01-01实施
中华xxxx国电子工业部部标准电子级气体中颗粒的测定方法
光散射法
SJ2798—87
本方法适用于电了级氢、氮、氧、、氧中颗粒的测定，也适用丁普通氢、氮、氧，氢、氨及其他无腐蚀性气体中颗粒的测定。1名词术语及方法原理
1,1名间术诺
1.1.1粒径一-题粒物质...................
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