部分标准内容：
中华xxxx国电子工业部部标准电子级氧
SJ2796—87
本标准适用于半导体分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氧。按其使用要求电子级氧分为两级：代号为：电子I级载代号为：DzO2—I
电子【级筑代号为：DZO—1。
技术要求
1.1电了级氧应符合表1中的要求，1电子级氧氟技术撒标
指标名称
性含母，
的含，Ppm
串烷含盘，Ppm
氧化碳十二笃龙
含，ppm≤
水份含，PPm=
频程命，
州迩学例
招于大...................
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