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部分标准内容:
中华xxxx国电子工业部部标准SJ2757-87
重掺半导体载流子浓度的
红外反射测试方法
1987-02-10发布
1987-07-01实施
中华xxxx国电子工业部批准中华xxxx国电子工业部部标准SJ2767-87
重掺半导体载流子浓度的红外反射测试方法本标雅适用丁测重膠半导体休材料载流于浓度,也适旧丁测量外延层、埋层和扩散层的载流子浓度。
测垦浓度范围为:
isi, 1,5×101a~-1,5x102/cm-,P-si, 3.0×1018~5.0×102nc...................
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