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SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语

术语设备中华集成电路 | 电子行业(SJ)/化工行业(HG) 16 小时前 1 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
部分标准内容：
中华xxxx国电子工业行业标准SI/T10152--91
集成电路主要工艺设备术语
1991-04-02发布
1993-07-01实施
中华xxxx国机撼电子工业部发布
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