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中华xxxx国电子行业标准
P436型六位排气台完好要求和检查评定方法1主题内容与适用范围
本标准规定了P436型六位排气台的完好要求和检查，评定方法。本标催适用于真空器件制造用排气台。2完好要求
2.1主要性能
SJ/T31155--94bzxz.net
排气台的性能，应能满足生产工艺要求。检查时，根据设备性能规定范围，结合产品加！.艺技术要求，对设备主要性能进行检测。排气台的主要性能完好要求姐下所列。a.按ZE一22?..................
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