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文库首页 › 分类大区 › 行业标准 › YS/T 26-1992 硅片边缘轮郭检验方法
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YS/T 26-1992 硅片边缘轮郭检验方法

硅片边缘剖面检验 | 纺织行业(FZ)/有色金属(YS) 3 小时前 1 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
部分标准内容：
中华人民共和国有色金属行业标准硅片边缘轮廓检验方法
主题内容与适用范围
本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廊。2方法提要
YS/T 26 --- 92
将硅片沿径向划开形成剖面，借助光学投影仪将其放大，聚焦使剖面清晰地投影到显示屏上，与标准模版相比较。硅片边缘剖面投影轮廓处在标准模版允许区域内，则硅片边缘轮廓为合格；否则为不合格。
3测量仪器
3.1光学投影仪放?..................
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