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硅抛光片表面质量测检验方法
Standard method for measuring the surface qualityof polished silicon slices by visual inspection1主题内容与适用范围
GB/T6624-1995
代替GB6624—86
本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验硅单晶单面抛光片(以下简称抛光片)表面质量的方法。
本标准适用于硅抛光片表面质量检验。...................
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