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硅抛光片表面平整度测试方法
Test methods for surface flatness of silicon polished slices第一篇方法A
主题内容与适用范围
光于涉法
本标准规定了用相于光的干涉现象测量硅抛光片表面平整度的方法，GB/T 6621—1995
代替GB6621--86
本标准适用于检测硅抛光片的表面平整度，也适用于检测硅外延片和类镜面状半导体晶片的表面平整度。
2术语
2.1总指示读数(TIR）total indicator ...................
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