部分标准内容：
设备完好要求和检查评定方法
（下册）
KANKAca
专用设备（续）
中华人居共和国电子行业标雅
铝金化机究好，求和检变评定方法1主题内容与造用范围
木标准规定了期金属化机的完好要求和直、证定方法。1/7 31247-94
本标准适用于对帮绕自径1Umm的只容器，低期料，练绝或其它薄膜上蒸镀智膜的设。
？完好要求
2.1性能
2.1.1蒸发均，无报快，誉瓷整齐，滴品点产工艺要求，2.1.2兼发室限真空度不低于0.1H155sP...................
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