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SJ/T 31105-1994 DRS－Ⅱ840型激光修版机完好要求和检查评定方法

激光求和精度方法 | 电子行业(SJ)/化工行业(HG) 2026-02-01 71 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
部分标准内容：
中华xxxx国电子行业标准
DRS-I840型激光修版机完好要求和检查评定方法
1主题内容与适用范围
SJ/T 31105—94
本标推规定了DRS一I840型激光修版机的究好要求和检查、评定方法。本标准适用于集成电路制版用激光修版机。2究好要求
2.1主要技术性能指标
2.1.1几何精度
激光修版后的加工精度，通过Leitz公司的“电视测仪测量后，进行尺寸精度评估。主要精度检测项目和检测方法，见表1。表1
检测项目
出厂标...................
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