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中华xxxx国电子行业标准
劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法主题内容与适用范
SJ/T 31095—94
本标准规定了半导体集成电路牛产用附瓷劈刀研磨装置的完好要求和检查评定方法。本标准适用卡KIKO型劈儿研磨装置，结构类似的其它型号的劈刀研磨装置，亦可参照执行，
2完好嘎求
2.1+要技术指标
2.1.1牛要性能指标完好要求和检测方法、检测器具，见表1。表1
检渊须日
矿磨小孔范围：20um~
p1Gogm
电转速?..................
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