部分标准内容：
中华人民共和国第四机械工业部部标准
硅外延片检测方法
SJ1550 -79
中华人民共和国第四机械工业部部
硅外延片检测方法
S.1 1550 - 79
云标准规定了N/V+、P/P*结构硅外延片的检激方法。其检测项日有外延层电阻率，外延层厚度、层错密度、位错密度、夹层和表面缺陷等。1.外碰属电阻率
采用三探针击穿电压法和电容·电压法，1.1三探针击等电压
.1.1谢试范国，0.1 ~5.cm。
1.1.2源理：
全属与半导体点接融的...................
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