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SJ 3244.2-1989 砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法

晶格外延测角仪失配 | 电子行业(SJ)/化工行业(HG) 2025-11-22 17 0star收藏 版权： . 保留作者信息 . 禁止商业使用 . 禁止修改作品
部分标准内容：
中华人民共和国机械电子工业部部标准砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法
主题内容与适用范围
SJ3244.2—89
本标准规定了异质结外延层与衬底之间晶格失配的测量原理、步骤、计算方法。本标准适用于以下范围：外延层表面晶向偏差小于1.5。多层外延层总厚度不大于10μm。2顾理：
2.1双晶测角仪结构原理
双晶测角仪结构如图1所示。
图1双晶测角仪原理图
M一X射线管：S，S2一水平狭缝；S3?..................
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